MEMS陀螺仪

微机电陀螺仪（Micro_Electro-Mechanical System）

简介

MEMS陀螺仪依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力（即哥氏惯性力），基于哥氏效应工作

• 主体是一个作高频振动的机械构件
• 采用静电方法驱动机械活动元件
• 把未知量转换为一种位移
• 通过电容测量把其检测出来
• 通常由硅制成

特点

1. 体积和能耗小
2. 成本低廉，适合大批量生产
3. 动态范围大，可靠性高

组成

• 驱动部分
  • 主要用于使陀螺仪内部的质量块产生振荡，当对载体施加转动角速率时，这时振荡的质量块就会受到科里奥利力
• 传感部分
  • 用于检测质量块受到的科里奥利力，从而敏感角速度